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孙郅佶; 安晨辉; 杨旭; 张清华; 王健; 毕果;
成都精密光学工程研究中心,四川成都610041;
厦门大学机电工程系,福建厦门361005;
超精密机床主轴; 在线测试; 回转误差; 异步误差;
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