高速气流喷射干式清洗理论及实验研究

摘要

为进一步发展环保经济的清洗方式,提出一种高速气流喷射的干式清洗方法.建立了高速气流喷射条件下去除光滑表面球形微粒的物理模型,将拖拽力与粘附力的比值定义为无量纲的再悬浮参数F*并给出其值的计算方法.选取玻璃基板和单晶硅片为样本平面、单分散的聚苯乙烯微粒为样本微粒,进行高速气流喷射清洗实验,实验探讨了F*与去除效率的关系.结果表明:高速气流喷射法为去除光滑表面微粒的有效方式;再悬浮参数F*可以作为评估去除效率的有效依据.