半导体器件早期失效筛选方法

摘要

为了获得更高的产品质量和可靠性,降低产品早期失效率,老化筛选一直是半导体生产测试的常规流程.但是器件老化非常耗时,而且会带来高昂的成本.论文讨论在何种条件下可以减少和取消器件老化,并提出了既能保证可靠性又能经济地筛选早期失效的有效方法——高电压应力和IDDQ测试方法.