触针式三维粗糙度测量仪的开发及应用

摘要

基于表面微观形貌三维分析的完整性,介绍了一种新开发的触针式三维粗糙度测量仪.该测量仪可对表面各种功能属性、纹理结构、表面重要缺陷等进行量化描述,并通过对气缸套内表面珩磨平台网纹角度、分布、有效沟槽等的检测,验证了三维图像对实现表面个性化功能属性描述的重要意义,给人们认识和研究微观形貌提供了帮助.