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齐艺超; 陈伟; 穆春元; 祝宁华;
中国科学院 半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室;
北京 100083;
中国科学院大学 微电子学院;
北京100049;
激光技术; 温控系统; 粒子群算法; PID控制; 优化;
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