激光散射理论及其在计量测试中的应用

摘要

本文系统地介绍了一门新近发展起来的学科－光散射及其应用技术。文中概述了散射理论的发展历史，详细介绍了瑞利散射定律及米氏理论，分析了散射与粒度、表面轮廓形貌统计特性及晶体内部微缺陷之间的数学关系，给出了激光散射在粒度、表面粗糙度测试及微缺陷检测中的应用实例。