等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜

摘要

报道了用等离子体辅助（Plasma-IAD）沉积技术镀制中心波长在1054nm的大口径（大于0.9m2）无漂移偏振膜，经高温高湿处理后，中心波长的漂移小于1nm。