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单晶硅的激光铣削试验研究

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摘要

采用Nd∶YAG脉冲激光器对单晶硅片进行铣削加工试验.系统研究了工艺参数对铣削量和铣削面质量的影响规律,并利用优化的铣削工艺对单晶硅进行了多种形状铣削加工.

著录项

来源
《激光技术》|2003年第5期|460-462465|共4页
作者
袁根福; 曾晓雁;
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作者单位

华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074;

安徽建筑工业学院数理系,合肥,230022;

华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光能加工设备及其加工;铣削加工及铣床;
关键词
激光加工; 激光铣削; 铣削量; 单晶硅;

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