集成光电传感器的研究

摘要

为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能.通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近.