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一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术

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提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术.监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机.由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4.

著录项

来源
《激光技术》|2004年第5期|547-549|共3页
作者
段子刚; 刘德明;
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作者单位

深圳大学,光电子学研究所,广东省光电子器件与系统重点实验室,深圳,518060;

华中科技大学,光电子工程系,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;半导体激光器;
关键词
半导体光放大器; 增透膜; 剩余反射; 适时监控;

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