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准分子激光光束均匀技术

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摘要

由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布.介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围.

著录项

来源
《激光技术》 |2005年第2期|207-209212|共4页
作者
叶震寰; 楼祺洪; 李红霞; 董景星; 魏运荣;
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作者单位

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院,研究生院,北京 100039;

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院,研究生院,北京 100039;

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类气体激光器;
关键词
准分子激光; 光束均匀; 蝇眼; 光刻;

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