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SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用

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摘要

文章介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用.

著录项

来源
《激光与红外》|2006年第11期|1013-1015|共3页
作者
朱西安; 左雷; 李震;
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作者单位

华北光电技术研究所,北京,100015;

华北光电技术研究所,北京,100015;

华北光电技术研究所,北京,100015;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外探测、红外探测器;半导体器件制造工艺及设备;
关键词
二次离子质谱; 碲镉汞; 红外焦平面阵列; 结深; 杂质;
入库时间 2022-08-18 03:12:05

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