聚酰亚胺的导电性能及其与铝的离子束混合研究

摘要

研究了150 keV Kr^+离子注入对聚酰亚胺(PI)导电性能的影响。发现 PI 样品注入 Kr^+离子后的室温电阻率比注入 Kr^+前降低约16个数量级。用范德堡法测量了193K至293K 温度范围内的电传导行为,对损伤层内的电传导机理进行了讨论。以150keV Kr^+轰击 Al/PI 双层薄膜系统。用背散射分析及误差函数拟合法对实验结果进行拟合计算,得到了 Al 在 PI 中的深度混合扩展量。