Co—Pt—Fe磁光薄膜微观结构

摘要

用蒸发沉积法制备了Ｃｏ－Ｐｔ－Ｆｅ多层膜，对薄膜进行真空扩散处理后，再利用透射电镜观察膜微观组织形态并利用微区衍射技术分析物相结构。结果表明，经退火处理的薄膜组织呈多晶态，晶粒非常细小，最大未超过４００ｎｍ，同时发现存在层错或孪晶等结构缺陷，但未发现有位错等线缺陷。