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张建民;
无;
离子束蚀刻; 半导体; 单晶硅;
机译:单晶硅型太阳能电池单晶硅纹理蚀刻剂“纯蚀刻T系列”
机译:单晶硅型太阳能电池单晶硅纹理蚀刻剂“纯蚀刻T系列”膨胀
机译:单晶硅型太阳能电池单晶硅纹理蚀刻剂[纯蚀刻T系列“
机译:聚焦离子束和随后的湿化学蚀刻法对单晶硅的三维纳米制造
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:聚焦离子束在单晶硅中形成手性可见光超表面
机译:反应离子束蚀刻期间半导体材料表面离子发射的性质
机译:在氯/氩中的Gaas的反应离子束蚀刻期间原位监测蚀刻副产物
机译:离子枪,离子束蚀刻装置,离子束蚀刻设备,蚀刻方法以及磁记录介质的制造方法
机译:包括用于提取离子束的狭缝结构的离子束设备,使用该离子束设备的蚀刻方法以及使用该离子束设备制造磁存储器件的方法
机译:包括用于提取离子束的杆结构的离子束装置,使用该离子束装置的蚀刻方法以及使用离子束装置制造磁存储器的方法
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