半导体器件中金刚石散热器热性能的传输线矩阵(TLM)法分析

摘要

本文将传输线矩阵（ＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎＬｉｎｅＭａｔｒｉｘ，ＴＬＭ）法运用到热扩散问题的求解中，通过对模型的建立、迭代算法的步骤、边界的处理等问题的讨论，详细阐述了传输线矩阵（ＴＬＭ）法用于分析热扩散问题时的基本理论．最后以半导体器件中金刚石薄膜散热器为例进行了实例分析．