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孔祥东; 张玉林; 卢文娟;
东营职业学院科研处,山东,东营,257091;
山东大学控制科学与工程学院,济南,250061;
MEMS; 电子束; 曝光; 抗蚀剂;
机译:蒙特卡罗技术研究电子束/极紫外平版印刷中曝光剂量对潜像线边缘粗糙度的依赖性
机译:电子束曝光法使用纳米级超细图案排列向列液晶分子
机译:在多列电子束曝光系统中使用四个列单元评估每个电子束和曝光结果
机译:无机电子束抗蚀剂的细曝光特性
机译:液态镓接触RF MEMS开关和VLSI MEMS开关。
机译:具有亚微米特性的聚合物bioMEMS的电子束光刻
机译:通过振动光谱研究和原位电子束诱导解吸研究氢倍半硅氧烷的电子束曝光机制
机译:液态CO(次级2)细煤的聚结:最终报告,1983年10月 - 1988年1月。
机译:带电粒子束的生成方法,电子束曝光的方法,电子束接近曝光的方法,带电粒子束设备,电子束曝光设备和电子束接近曝光设备
机译:多柱电子束曝光的掩模,电子束曝光设备以及采用多柱电子束曝光的掩模的曝光方法
机译:使用用于多列电子束曝光的掩模和用于多列电子束曝光的掩模的电子束曝光装置和曝光方式
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