振弦式加速度计敏感部件设计

摘要

文中是利用弦丝谐振频率随其张紧程度变化而变化的特性,对加速度计敏感部件进行设计研究.通过精密的结构设计和工艺设计,使敏感部件具有良好的稳定性、线性及低的温度误差.当符合要求的两个敏感部件装配成差动输出的加速度计,可测量范围为0～60g,线性小于0.15%,温度误差小于0.15%.