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ATOMIC　FORCE　MICROSCOPY　OBSERVATION　OF　MAGNETRON　SPUTTERED　ALUMINUM－SILICON　ALLOY　FILMS

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ＡＴＯＭＩＣＦＯＲＣＥＭＩＣＲＯＳＣＯＰＹＯＢＳＥＲＶＡＴＩＯＮＯＦＭＡＧＮＥＴＲＯＮＳＰＵＴＴＥＲＥＤＡＬＵＭＩＮＵＭ－ＳＩＬＩＣＯＮＡＬＬＯＹＦＩＬＭＳＪ．Ｗ．Ｗｕ，Ｊ．Ｈ．ＦａｎｇａｎｄＺ．Ｈ．Ｌｕ（ＮａｔｉｏｎａｌＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｏ...

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来源
《金属学报：英文版》 |1996年第4期|263-266|共4页
作者
J.W.Wu; J.H. Fang and Z.H.Lu (National Laboratory of Molecule and Biomolecule Electronics; Southeast University; Nanjing 210096; China;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG146.21;
关键词
magnetron; sputtering; Al-Si; alloy; surface; morphology; atomic; force; microscopy; film; growth; mechanism;

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