数控直线电机进给定位误差补偿技术研究

摘要

介绍了应用双频激光干涉仪测试数控直线电机进给的定位误差方法,并利用最小二乘法分别建立定位误差的线性模型、分段线性模型、样条拟合模型,并对数控直线电机进给的定位误差进行补偿.研究结果表明,采用软件补偿的方法可以较大地提高直线电机进给的定位精度.