微结构器件宏模型的建模方法

摘要

主要描述了微机械器件宏模型的构建问题.以微悬臂梁为例子,阐述了等效电路法、节点分析法、S-空间矩匹配方法、模态-Galerkin方法构建微机械宏模型的研究概况以及各个宏建模方法的优、缺点.