同时沉积铬硅的热力学计算

摘要

用Ｓｏｌｇａｓｍｉｘ－ＰＶ软件包对沉积反应进行热力学计算。结果表明，用原位ＣＶＤ方法、采用三元卤化物活化剂，在热力学上可以同时沉积铬硅，并且渗源中的铬硅比例按１２／１配置可以获得理想的渗层。