用于串列加速器的微团簇离子源研究

摘要

设计、安装调试了一台微团簇离子源,其原理是气体放电与磁控溅射相结合产生溅射粒子,溅射产生的粒子经过一低真空区时,经历液氮冷凝和复杂的碰撞,形成微团簇离子,后经高压电场引出,测得离子混合束的总强度.微团簇离子束经一分析磁场,得到C+n和Al+n的质谱,并对实验的结果进行了分析讨论.