(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜的制备工艺及电学性质研究

摘要

采用溶胶-凝胶方法制备出纯立方钙钛矿相、介电性能和漏电流特性良好的(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜. 研究发现,随着烧结温度的升高,(Ba0.5Sr0.5)TiO3薄膜纯度和结晶度增高,介电常数提高,漏电流密度降低. 在750℃进行保温1h热处理的薄膜性能较好且稳定:在室温下测得薄膜介电常数为250,介电损耗为0.030,漏电流密度为6.9×10-8A/cm2. 较高的介电常数、较低的漏电流密度可能源于良好的纯度和结晶度. 进一步研究表明,薄膜导电遵从空间电荷限制电流机制.