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常压制备SiO2气凝胶薄膜

     

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在常压下制备了SiO2气凝胶薄膜,并用傅里叶红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、椭偏光谱仪等表征了薄膜的结构和性能.研究结果表明,气凝胶薄膜的折射率低达1.067,对应孔洞率为87.7%,密度为0.269×103kg·m-3,热导率为0.020W·m-1·K-1(300K)时,介电常数为1.52.这些优异性能的获得,主要归因于酸/碱两步催化、溶剂替换以及胶粒表面硅烷化等三个过程.

著录项

  • 来源
    《红外与毫米波学报》|2004年第6期|465-468|共4页
  • 作者单位

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜技术;
  • 关键词

    SiO2气凝胶薄膜; 常压; 孔洞率;

  • 入库时间 2022-09-01 14:00:57

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