溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜晶体结构和发光特性的研究

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂法在Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,在室温下利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光致发光谱(PL)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和发光特性.结果表明:当热分解温度为400℃,晶化温度为450℃～650℃时,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜样品属六方纤锌矿结构,ZnO薄膜呈现沿各个晶面自由生长的特性;在室温下均有较强的紫外带边发射峰,这表明带间跃迁占了主导地位,与缺陷有关的可见发射带很弱.以上结果说明:溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜质量较高.