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张旭海; 曾宇乔; 蒋建清;
东南大学;
成分模拟; 三元复合靶; 反应溅射;
机译:氮气中镶嵌靶预测溅射沉积涂层成分模型的实验验证
机译:使用镶嵌靶通过反应溅射合成的Al {sub} xTi {sub}(1-x)硬涂层
机译:镶嵌靶通过反应溅射合成的Al_xTi_(1-x)N硬质涂层
机译:硼和基于硼的涂层通过不对称双极脉冲磁控溅射的松散填充粉末靶沉积
机译:反应溅射沉积的氧化锆和氧化钇稳定的氧化锆涂层的相形成和微观结构。
机译:靶成分和溅射沉积参数对沉积在聚合物基底上的氮化银-坡莫合金柔性薄膜功能性能的影响
机译:源自沉积速率提高的电镀NiP靶材的磷含量极高的溅射三元Ni-P-W涂层的显微硬度
机译:激光熔融靶材制造:聚乙烯涂层在聚乙烯物理气相沉积球杆靶设计中的应用
机译:用于在钛靶上不形成氮化钛的情况下沉积氮化钛的反应溅射系统以及沉积氮化钛层的方法
机译:溅射沉积单元可用于在半导体晶片上沉积钛和氮化钛涂层,其溅射靶具有非靶材表面,用于接收靶材并将靶材重新溅射到工件外围
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