底电极对PLT铁电薄膜结构与电性能的影响

摘要

用Ｘ射线衍射和扫描电镜对不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极的物要与形貌进行了分析。用金属有机化合物分解法通过多次匀胶，制备了０．７２－０．８７μｍ厚的ＰＬＴ铁电薄膜。并对其形貌，相结合介电和铁电性能与直流电阻特性进行对比研究，结果表明：不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极对ＰＬＴ铁电薄膜的各种有明显的影响。