ZrO2薄膜的表层结构

摘要

用射频溅射技术制备了ＺｒＯ２薄膜，用恒正电子束分析该谱膜，发现它的的表层存在一高正电子吸收区，它与钇的表面富集有关，提出了相应的模型。