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姜利军; 陈翔; 王旭洪;
无;
机译:PECVD生长的a-SiCx:H薄膜中电输运的研究
机译:用PECVD法低温形成栅隔离层氮化硅薄膜的低温工艺
机译:VHF PECVD法生长薄膜太阳能电池用低温微晶硅薄膜
机译:低温RF-PECVD法从SIF_4 / H_2 / AR硅薄膜的外延生长
机译:PECVD系统的设计,构造和运行以及通过低压化学气相沉积法开发的GeO(2)-SiO(2)薄膜玻璃电介质。
机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:真空紫外直接激发型光化学汽相淀积法研究SIO2薄膜的低温生长
机译:二氧化硅薄膜的低温生长:椭圆光度法和红外光谱法研究化学键合
机译:低温多晶硅薄膜的元件及其在低温下直接淀积的多晶硅薄膜的方法及其感应耦合等离子体化学气相淀积设备
机译:低温多晶硅薄膜的组成及其在低温下的直接淀积和电感耦合等离子体化学气相沉积设备制造多晶硅薄膜的方法
机译:等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备低温低应力低k介电体的低温工艺
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