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热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制

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采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.

著录项

来源
《功能材料》 |2002年第1期|46-48|共3页
作者
邱东江; 吴惠桢; 石成儒; 徐晓玲; 郝天亮;
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作者单位

浙江大学物理系,浙江,杭州,310028;

浙江大学物理系,浙江,杭州,310028;

浙江大学中心实验室,浙江,杭州,310028;

浙江大学物理系,浙江,杭州,310028;

浙江大学中心实验室,浙江,杭州,310028;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
热丝碳化; 金刚石; 成核;

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