热处理对Fe-O、Fe-N-O薄膜透射率的影响

摘要

采用二极溅射方法在玻璃基体上制备了Fe-O、Fe-N-O薄膜.在空气气氛下用不同温度对其进行了加热处理,并用紫外可见分光光度仪对热处理前后样品的透射率进行了研究.结果表明,热处理对薄膜的光学性能影响较大;N元素的存在对薄膜的光学性能有一定的影响;随着加热温度的增加透射率增加.XPS实验结果证明薄膜性能改变的原因是热处理后薄膜的成分与结构发生了明显的变化.