反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜

郝瑞英; 雷智; 郑家贵; 冯良桓; 蔡伟; 武莉莉; 张静全

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反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜

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在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12～13 Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别.

著录项

来源
《功能材料》 |2004年第z1期|1148-1150|共3页
作者
郝瑞英; 雷智; 郑家贵; 冯良桓; 蔡伟; 武莉莉; 张静全;
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作者单位

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
H2O2; SnO2; 超声喷雾热分解技术;

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