新型高灵敏度压电陶瓷多层膜结构加速度传感器

摘要

采用压电陶瓷粉体厚膜流延成型工艺和陶瓷内电极共烧技术制成了一种圆环状多层膜结构的压电陶瓷片,用它代替以往圆环状单片压电陶瓷片后,其压电加速度的灵敏度大幅度提高.本文对该加速度的性能进行了研究.这种体积小、重量轻、灵敏度高的新型加速度计可望在高新技术领域中获得应用.