电镀高饱和磁感应(Bs)CoNiFe软磁薄膜研究

摘要

研究了电沉积CoNiFe合金薄膜镀液中主盐离子浓度对膜层磁性能的影响.用振动样品磁强计(VSM)和四探针等方法测试分析了膜层的物理性能.结果表明膜层的物理性能与合金镀液中的主盐离子浓度密切相关,镀液中Ni2+、Fe2+、C02+浓度分别为0.2、0.012和0.063mol/L时,电沉积的CoNiFe合金膜层的电磁性能较佳.其饱和磁化强度Bs达1.9T,矫顽力Hc为91.5A/m,电阻率为45μΩ·cm,在1MHz下磁导率μi为602.