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外延薄膜X射线表征方法的新进展

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摘要

对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍.RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽.而XRR主要用于模拟薄膜的厚度、粗糙度、密度及深度分布.

著录项

来源
《功能材料》|2005年第1期|1-5|共5页
作者
杜晓松; 杨邦朝;
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作者单位

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类衍射实验及数据处理;薄膜技术;
关键词
倒易空间图; X射线反射谱; 外延薄膜;
入库时间 2022-08-17 16:31:17

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