Parylene F薄膜介电材料的制备与研究

摘要

通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜，采用扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）观察了表面形貌，并用红外光谱（IR）、X射线光电子能谱（XPS）及热重分析仪（TGA）等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征，阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数。研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料。