CVD法SiC纤维沉积过程的正交试验研究

摘要

采用正交设计方法对CVD法制备SiC纤维的工艺过程进行了分析和研究。在CVD法SiC纤维沉积过程中，主要考虑了5种工艺因素和4个水平，计算了不同工艺因素条件下的方差，分析了各自影响的显著性。找出影响SiC纤维抗拉强度工艺因素的主次顺序，并讨论了主要工艺因素对沉积过程的影响机理。