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微装配技术在微机电引信中的应用综述

         

摘要

随着微机电(MEMS)引信研究的深入以及实用化迫切要求,MEMS引信微装配技术成为MEMS引信发展的瓶颈.自动微装配可以提高MEMS引信的生产效率,降低生产成本,保证MEMS引信的可靠性及安全性,介绍微装配技术在MEMS引信中的必要性,着重综述了微装配技术及MEMS引信的微装配技术的基本原理和发展现状,结合发展现状分析了MEMS引信微装配技术发展趋势.

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