等离子体气相沉积过程中微弱光发射信号的原位检测

摘要

本文用稳态和瞬态光发射原位检测系统测量和研究了用等离子气相沉积方法制备金刚石薄膜过程中的微弱光发射信号。用测得的这些信号分析制备过程中真空反应室内各种成分的变化情况,取得比较满意的结果。检测系统工作稳定,测量精度为:波长辨率≤0.1nm,时间分辨率≤1μs,空间分辩率5mm。