一种简便的扫描电镜束流测量装置

摘要

本文介绍了一种采用I-F变换法测量SEM束流的装置,给出了I-F变换器的原理和实验线路及相应实验结果。研究表明,该装置具有直接变换误差小,无直流漂移,不变换量程,线性动态范围宽和简便实用等优点。