用边缘电容测量表面光洁度

摘要

设计一种传感器，用于测量加工平面的表面光洁度，本文讨论了加工平面和垂直瓷装电极间的边缘电场，并给出“电容光度计”静态和空间动态解析特征，对于一些平面，装置的作用相当于一个低通滤波器，它衰减了较高的空间频率，这里，引入了依据傅里叶变换的动态补偿法，最后给出简单的结构参数和电路设计思路。