集成电路矩形互连线二维电容及随频率变化电感的联合计算方法

摘要

提出一种电容电感联合算法,可计算全频率范围内随频率变化的电感,同时得到电容矩阵.该算法利用电路模型法得到低频下若干频率的电感值;利用边界元法得到电容矩阵,并对电容矩阵求逆得到电流完全分布在导体表面时的电感值,由集肤深度得到该电感值对应的频率.对上述离散频率的电感值利用三次样条函数插值,得到整个频率范围内电感的变化曲线.算法避免了求解Helmholtz方程,极大地简化了算法.数值结果表明,该算法是可行的.