二维互连电感电阻的电路模型法提取

摘要

介绍一个基于电路模型法的二维电感、电阻提取器的原理及实现方法.对衬底采用局部加密的电流细丝划分方法减少了未知量的个数、提高了计算速度,并利用高斯积分解决两电流细丝之间出现的三种奇异电感积分计算.该提取器具有很好的计算精度,能准确反映电阻与电感随频率的变化趋势.