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工艺参数变动下的三维互连电容快速模式建库方法

     

摘要

针对工艺不稳定性所带来的三维互连电容模式提取耗时激增的问题,提出一种增量式快速模式建库方法.该方法基于直接边界元计算,在2个紧邻工艺变动组合计算中,仅对前一组合计算所得的系数矩阵与右端项作局部修改,并取经预测修正的结果作为初值迭代提取后一工艺变动组合的电容,有着很高的精度和较高的加速比.

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