多路径模型对相位测量轮廓术的影响

摘要

为了克服多路径效应对相位测量轮廓术的影响,提出一种相位融合算法.首先建立多路径效应的数学模型,并利用该模型分析多路径效应引起的相位误差,得出了该效应引起的相位误差主要发生在反射率变化剧烈的地方,其除了与邻域内每点的真相位值和真反射率有关外,还与扫描的方向有关的结论;然后基于该分析推导出相位融合算法,沿X,Y方向扫描分别得到2组相位值,再根据物体表面反射率的变化对2组相位进行融合,完成相位的修正.实验结果表明,即使投射大量的编码图片,由多路径效应引入的相位误差仍然存在且不可忽略,采用文中算法可以有效地使相位误差减小2倍.