扫描电镜的最新发展--低电压扫描电镜(LVSEM)和扫描低能电镜(SLEEM)

摘要

本文从仪器和电子光学的观点评述了在扫描电镜上装备场发射枪以后,向低电压扫描电镜和扫描低能电镜发展中的一些重要问题.讨论了低能和极低能时二次电子和背散射电子的特性,低电压扫描电镜和扫描低能电镜能量段的划分,实现低电压扫描电镜和扫描低能电镜的困难,以及利用阻滞场透镜的解决办法.讨论了低能情形下信号的探测,杂散电磁场的影响的估计和仪器的分辨率.