激光烧蚀Cu靶产生等离子体紫外段发射光谱的研究

摘要

利用波长532 nm, 脉宽15 ns的Nd:YAG 激光作用于Cu靶上,研究了产生等离子体的紫外段(180 nm～300 nm)发射光谱.在局部热力学平衡条件下,采用Boltzmann图表法估算了等离子体的电子温度,得到了电子温度随时间和空间的变化,以及电子温度随激光能量密度的变化.结果显示,随着激光能量的变化,电子温度有一个极大值.随着时间的发展,电子温度先减小,而后增大,接着缓慢减小.随着距靶面距离的增加,电子温度呈下降趋势.