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ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响

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摘要

分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.

著录项

来源
《应用科学学报》 |2007年第4期|359-364|共6页
作者
周蓓; 廖斌; 朱守正;
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作者单位

华东师范大学;

信息学院电子系;

上海;

200062;

华东师范大学;

信息学院电子系;

上海;

200062;

华东师范大学;

信息学院电子系;

上海;

200062;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类无线电电子学的应用;
关键词
电感耦合微波等离子体源(ICP); 平面微带螺旋天线; 数值仿真;

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