用于微纳米测量的磁流变阻尼固紧系统

摘要

研究用新型功能材料-磁流变液制作阻尼同紧器,具有减小电机振动和实现微冲击固紧工作台的双重功能.通过有限元分析对其磁路进行了仿真,并用往复运动实验系统对其性能进行了标定.在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明,加上磁流变阻尼固紧器后,工作台定位稳态波动从20nm减小到5 nm以内,可实现纳米三坐标测量机纳米级定位稳态波动.